使用 MA 方法加速測量氣體/水蒸氣滲透率的研究

MA方法的特點是在測量樣品和連接到水蒸氣或氣體的QMS的空間之間提供支撐層。

支架具有延遲氣體流入QMS側面空間的作用，因此可以防止更換樣品時檢測器側面空間的污染。結果，QMS側的空間始終保持高真空度，從而可以縮短或消除預處理時間。

將樣品室向大氣開放約90秒后，進行約24小時的測量。未檢測到大氣成分水、氮氣和氧氣，表明QMS側空間保持清潔的環境。

減少樣品損壞

右圖是測量后樣品的照片。
支撐件起到緩沖器的作用，這是傳統壓差方法的一個問題。
還可以減少測量過程中對樣品的損壞。
通過采用使用支撐體的測量方法，即使是薄且易碎的樣品、容易破碎的樣品以及難以處理的樣品，也可以高精度地進行測量。

實現 SI 可追溯

QMS是一種可以高靈敏度定量各種氣體的檢測器，但靈敏度根據氣體類型的不同而變化很大。此外，靈敏度可能會根據使用歷史和環境而變化，因此需要定期校準。

該設備具有內置校準機制，使用 SI 可溯源標準電導元件 (SCE)，使校準變得容易。
校準時，將校準氣體（用戶指的氣體或水蒸氣）通過SCE引入檢測器，如右圖所示。通過繪制 QMS 輸出與供應側壓力變化的關系圖，可以獲得校準曲線。

1. 氣體/水蒸氣滲透率測量裝置：單室型（MAT）

實現快速測量、靈敏度和 SI 可追溯性

該裝置快速、高靈敏度、高精度，可以測量薄膜的氣體阻隔性能。它有助于各個領域的研究和開發，不僅包括
需要高水蒸氣阻隔性能的有機器件和太陽能電池，還包括食品和藥品包裝，其中氧氣阻隔性能對于防止氧化引起的質量劣化非常重要。

可以檢測到10 -7 g/m 2 /天的水蒸氣滲透率水平，這相當于每天在面積與10個足球場相同的樣品(薄膜)上滴一滴水。
此外，新開發的測量方法大大縮短了測量時間，并且
通過使用公共機構的校準器，可以進行可追溯至國家標準的定量測量。

我們在國內外學術會議和展覽會上廣泛推廣我們的產品，以促進國際標準，
目前我們擁有大量向國內外（尤其是中國）顯示器和器件制造商、公共機構等客戶的銷售記錄。

除了用于有機器件、太陽能電池、食品和包裝的阻隔薄膜和片材之外，我們在測量
半導體和半導體陶瓷、容器和包裝玻璃以及電子元件金屬方面也擁有豐富的經驗。