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日本nanogray β射線測厚儀SB-1100系列 通常，為了測量片材的寬度方向上的厚度分布，檢測系統由掃描儀攜帶并進行測量。通常使用激光位移計作為不接觸地測量厚度的手段，但是如果將激光位移計安裝在掃描儀上，則其傳送的精度遠遠低于激光位移計的精度，從而導致結果。高精度測量是困難的。

日本nanogray X射線測厚儀SX-1100系列 使用軟X射線（軟X射線）的厚度計（膜厚度計）。以非接觸方式（軟X射線）測量薄片和板狀物體的厚度和密度（基本重量）。通過直接與參考物質比較來計算厚度和密度（基本重量），而不是直接測量厚度。