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日本filmetrics對準自動膜厚測量系統(tǒng)F60 F60自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是F50的高duan機型，具有缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制。 只需將樣品放在載物臺上，然后單擊測量按鈕即可自動執(zhí)行對齊、基線和膜厚映射。

日本filmetrics自動膜厚測量系統(tǒng)F50 F50自動測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學干涉原理的膜厚測量功能與自動高速載物臺相結合的系統(tǒng)。 以過去無法想象的速度測量點的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測量點。

日本filmetrics臺式膜厚測量系統(tǒng)F3-CS F3-CS是測量小樣品的最佳測量系統(tǒng)。與測量臺集成的測量系統(tǒng)使其易于攜帶。 只需將樣品的測量面朝下放置在載物臺上即可進行測量，約1秒即可測量出膜厚和折射率。

日本filmetrics板厚測量系統(tǒng)F3-sX 可以高精度測量硅基板和玻璃基板的厚度。 通過安裝最初開發(fā)的具有高波長分辨率的光譜儀，可以測量高達 3 mm 的厚膜。