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日本filmetrics對準自動膜厚測量系統F60 F60自動測繪膜厚測量系統是F50的高duan機型，具有缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制。 只需將樣品放在載物臺上，然后單擊測量按鈕即可自動執行對齊、基線和膜厚映射。

日本filmetrics自動膜厚測量系統F50 F50自動測繪膜厚測量系統是將基于光學干涉原理的膜厚測量功能與自動高速載物臺相結合的系統。 以過去無法想象的速度測量點的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測量點。

日本filmetrics臺式膜厚測量系統F3-CS F3-CS是測量小樣品的最佳測量系統。與測量臺集成的測量系統使其易于攜帶。 只需將樣品的測量面朝下放置在載物臺上即可進行測量，約1秒即可測量出膜厚和折射率。

日本filmetrics板厚測量系統F3-sX 可以高精度測量硅基板和玻璃基板的厚度。 通過安裝最初開發的具有高波長分辨率的光譜儀，可以測量高達 3 mm 的厚膜。

日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度測量系統F10-RT F10-RT 是一款集成了測量單元和測量臺的緊湊型臺式測量系統。可同時測量反射率和透射率，并可輕松分析膜厚、折射率和消光系數。 只需一根 USB 線和電源線即可輕松連接，無需調整光學系統，無需復雜的設置，而且設置非常簡單。